BPatG Beschluss vom 19.01.2000 – 13 W (pat) 40/98

BUNDESPATENTGERICHT

13 W (pat) 40/98

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(Aktenzeichen)

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B E S C H L U S S

In der Beschwerdesache

betreffend die Patentanmeldung P 42 06 374.4 - 43

hat der 13. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts in

der Sitzung vom 19. Januar 2000 unter Mitwirkung des Vorsitzenden Richters

Dipl.-Ing. Ulrich sowie der Richter Dr. K. Vogel, Heyne und Dr. W. Maier 10.99

beschlossen:

Auf die Beschwerde der Anmelderin wird der Beschluß der

Prüfungsstelle für Klasse C 30 B des Deutschen Patentamts

vom 20. April 1998 aufgehoben und das Patent erteilt.

Bezeichnung: "Substrathalter für die Flüssigphasenepitaxie

und Verwendung"

Anmeldetag: 29. Februar 1992

Der Patenterteilung liegen folgende Unterlagen zugrunde:

Ansprüche 1 bis 5, eingegangen am 8. Dezember 1999;

Beschreibung Seiten 1, 1a, 2 bis 8, eingegangen am 8. Dezember 1999

2 Blatt Zeichnungen mit Figuren 1 bis 5, eingegangen am

Anmeldetag.

In den Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen

sind die aus den diesem Beschluß beigefügten Ablichtungen

ersichtlichen redaktionellen Änderungen vorgenommen worden.

G r ü n d e

I.

Die Prüfungsstelle für Klasse C 30 B hat nach Durchführung des Prüfungsverfahrens die Anmeldung mit Beschluß vom 20. April 1998 zurückgewiesen.

Begründet ist der Beschluß im wesentlichen damit, daß das Verfahren gemäß

dem seinerzeit geltenden Anspruch 1 gegenüber dem durch die Druckschriften

(1) DE 33 15 794 A1

(2) DE 29 33 172 A1 und insb.

(3) EP 306 967 A2

gebildeten Stand der Technik nicht auf erfinderischer Tätigkeit beruhe.

Hiergegen richtet sich die Beschwerde der Anmelderin.

Sie beantragt sinngemäß,

das Patent mit den am 8. Dezember 1999 eingegangenen

Unterlagen (5 Ansprüche, 9 Seiten Beschreibung) sowie den

am Anmeldetag eingegangenen Zeichnungen (2 Blatt) zu erteilen.

Wegen weiterer Einzelheiten wird auf den Akteninhalt verwiesen.

II.

Die Beschwerde ist form- und fristgerecht erhoben und daher zulässig. Sie führt

zur Patenterteilung im beantragten Umfang.

Die Ansprüche 1 und 5 lauten:

1. Substrathalter (10) für die Flüssigphasenepitaxie, mit mindestens einem Halteort (11.1, 11.2) für paarweise dicht nebeneinanderstehend gehaltene Substrat (12.1, 12.2), deren

auf ihren Hauptflächen rechtwinklig stehenden Achsen zusammenfallen und dabei die Flächen, auf denen Schichten

epitaktisch aufgewachsen werden sollen, voneinander wegzeigen, wobei jeder Halteort mindestens eine Nut (13.1, 13.2;

13.3) mit im wesentlichen halbkreisförmigen Umfang zum

Halten der beiden Substrate aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß an jedem Halteort zwischen den Substraten

eine Zwischenplatte (14.1, 14.2; 14.3) eingefügt ist, die aus

einem Material besteht, das als Substrathaltermaterial geeignet ist, und die Breite jeder Nut etwas größer ist als die

Summe der Dicken der beiden zu haltenden Substrate und

der Zwischenplatte.

5. Verwendung des Substrathalters nach einem der Ansprüche 1 bis 4 zum Halten von Substraten bei der Flüssigphasenepitaxie.

Wegen des Wortlauts der auf den Anspruch 1 rückbezogenen Ansprüche 2 bis 4

wird auf den Akteninhalt verwiesen.

Diese Ansprüche gehen insgesamt inhaltlich auf die Erstunterlagen zurück (urspr.

Anspr. 1-4 und 7 iVm Beschr. S 2 Z 13-17) und sind daher zulässig.

III.

Die in der Anmeldung sinngemäß angegebene Aufgabe ist es, einen Substrathalter bzw. dessen Verwendung für die Flüssigphasenepitaxie aufzuzeigen, bei dem

sicher vermieden wird, daß paarweise eng nebeneinander gelagerte Substrate bei

der epitaktischen Beschichtung von deren voneinander weg weisenden Seiten

zusammenwachsen, ohne daß es notwendig ist, in einem gesonderten Schritt die

epitaktisch nicht zu beschichtende Seite mit einer abweisenden Beschichtung zu

versehen, die anschließend wieder abgelöst werden muß.

Diese Aufgabe wird durch den Substrathalter gemäß Anspruch 1 bzw dessen Verwendung nach Anspruch 5 gelöst.

Die Gegenstände der Ansprüche 1 und 5 sind neu.

Gemäß (1) werden einzelne Substrate in Nuten gehalten. Diese Substrate sind

aber nicht eng gepackt paarweise angeordnet und der Halter somit nicht entsprechend ausgebildet. Zwischenplatten sind nicht vorgesehen.

In dem Substrathalter gemäß (2) können zwar die Substratscheiben paarweise

Rücken-zu-Rücken liegend angeordnet werden, eine Zwischenplatte ist jedoch

ebenfalls nicht vorgesehen.

Der Halter gemäß (3) weist zwar eine Zwischenplatte auf, und die Substrate sind

auch paarweise angeordnet. Jedoch ist die Zwischenplatte in der konkreten Ausführungsform mit einem verstärkten Rand versehen (vgl Fig 4 und 5, Platte 22 mit

Verdickung 34). Dagegen lehrt die vorliegende Anmeldung eindeutig keine Zwischenplatte mit verdicktem Rand.

Die Gegenstände der Ansprüche 1 und 5 beruhen auch auf erfinderischer Tätigkeit.

Das Problem, daß paarweise - Rücken an Rücken und eng aneinander - angeordnete, an den voneinander weg weisenden Flächen zu beschichtende Substrate

beim Beschichten zusammenwachsen könnten, wird in (1) oder (2) nicht angesprochen. Entsprechende Problemlösungen können daher aus (1) oder (2) nicht

hergeleitet werden.

Aus (3), insb. Fig 4/5 iVm Sp 5 Z 20 ff gehen Substrathalter hervor, die Substrate

paarweise halten, und wobei auch eine Zwischenplatte vorgesehen ist. (3) bezieht

sich jedoch ausschließlich auf die Wärmebehandlung von Substraten (vgl Sp 1

Abs 1). Die Probleme des Verwachsens von eng gepackten Substraten bei der

Flüssigphasenepitaxie spielen hier keine Rolle, schon deshalb, als die Substrate

hier deutlich mit Abstand gehaltert sind (vgl Sp 5 Z 49 ff). Wie das Zusammenwachsen von dicht - wegen der Wärmeausdehnung zwar notwendig mit einem geringen Spiel - gepackter Substrate verhindert werden könnte, ist daher auch aus

(3) nicht herzuleiten.

Auch eine Zusammenschau zweier oder aller drei Entgegenhaltungen läßt keine

weitergehenden Gesichtspunkte erkennen.

Der Anspruch 1 ist daher gewährbar. Mit dem Anspruch 1 sind die Ansprüche 2

bis 4 - die Weiterbildungen des Gegenstandes des Anspruchs 1 betreffen - gewährbar.

Für die Patentfähigkeit der Verwendung des Substrathalters nach Anspruch 5 gelten die zur Patentfähigkeit des Halters nach Anspruch 1 dargelegten Gründe sinngemäß.

Der Anspruch 5 ist daher ebenfalls gewährbar.

Die Beschreibung ist an die jetzt geltenden Patentansprüche angepaßt.

Das nachgesuchte Patent war daher im beantragten Umfang zu erteilen.

Dipl.-Ing. Ulrich

Dr. K. Vogel

Heyne

Dr. W. Maier

Anlage: Ablichtung der Patentansprüche 1 bis 4, der Seiten 2, 3 und 5 bis 8 und

der Figuren 1 und 2 mit redaktionellen Änderungen.

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