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BPatG Beschluss vom 22.06.2021 – 23 W (pat) 22/19

23. Senat · ECLI:DE:BPatG:2021:220621B23Wpat22.19.0

BUNDESPATENTGERICHT

23 W (pat) 22/19 _______________________

(Aktenzeichen)

Verkündet am

22. Juni 2021

B E S C H L U S S

In der Beschwerdesache

betreffend die Patentanmeldung 102 13 395.6

hat der 23. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf

die mündliche Verhandlung vom 22. Juni 2021 unter Mitwirkung des Vorsitzenden

Richters Dr. Strößner sowie der Richter Dr. Friedrich, Dr. Himmelmann und Dr.

Kapels

ECLI:DE:BPatG:2021:220621B23Wpat22.19.0

beschlossen:

1. Der Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse H01L des Deutschen

Patent- und Markenamts vom 14. Mai 2019 wird aufgehoben.

2. Es wird ein Patent erteilt mit der Bezeichnung „Indiumgalliumnitrid-

Glättungsstrukturen für III-Nitrid-Anordnungen“, dem Anmeldetag

26. März 2002 unter Inanspruchnahme der Priorität US 823732 vom

29. März 2001 auf der Grundlage folgender Unterlagen:

- Patentansprüche 1 bis 20,

- Beschreibungsseiten 1 bis 18,

jeweils überreicht

in der

mündlichen Verhandlung am 22. Juni 2021;

-

11 Blatt Zeichnungen mit Figuren 1 bis 5, 6A, 6B, 6C, 7 bis 10,

11A, 11B, 12 und 13 eingegangen im Deutschen Patent- und

Markenamt am Anmeldetag.

G r ü n d e

I.

Die vorliegende Anmeldung mit dem Aktenzeichen 102 13 395.6 und der

Bezeichnung „Indiumgalliumnitrid-Glättungsstrukturen für III-Nitrid-Anordnungen“

wurde am 26. März 2002 unter Inanspruchnahme der US-Priorität 09/823732 vom

29. März 2001 beim Deutschen Patent- und Markenamt eingereicht und am 10.

Oktober 2002 mit der DE 102 13 395 A1 offengelegt. Prüfungsantrag wurde wirksam

am 13. März 2009 gestellt.

Die Prüfungsstelle für Klasse H01L hat im Prüfungsverfahren auf den Stand der

Technik gemäß den Druckschriften

GB 2 338 107 A

US 5 793 054 A

US 5 587 593 A

JP 2000 - 216 432 A (mit englischer Maschinenübersetzung)

JP 11-008 437 A (mit englischer Maschinenübersetzung)

D1

D2

D3

D4

D5

verwiesen und im ersten Prüfungsbescheid vom 11. Dezember 2013 u. a.

ausgeführt, dass die Licht emittierende Anordnung des ursprünglichen Anspruchs 1

nicht neu sei hinsichtlich Druckschrift D1 und die des ursprünglichen Anspruchs 21

dem Fachmann durch die Druckschrift D1 i.V.m. Druckschrift D3 nahegelegt werde.

Das Verfahren des ursprünglichen Anspruchs 24 sei ebenfalls nicht neu bezüglich

Druckschrift D1 und die Display-Anordnung nach Anspruch 27 beruhe auf keiner

erfinderischen Tätigkeit des Fachmanns. Die Licht emittierende Anordnung des

ursprünglichen Anspruchs 11 sei hingegen patentfähig bezüglich der

im

Erstbescheid angeführten Druckschriften D1 bis D3.

Mit Eingabe vom 4. April 2014 hat die Anmelderin einen lediglich hinsichtlich der

Bezugszeichen geänderten Anspruchssatz vorgelegt, zu dem die Prüfungsstelle mit

Bescheid vom 19. Juli 2018 – zusätzlich zu Bedenken betreffend die Einheitlichkeit

und Anspruchsformulierung – unter Verweis auf die in einer Nachrecherche

ermittelten Druckschriften D4 und D5 ausgeführt hat, dass die Anordnungen der

Ansprüche 1, 11 und 21 sowie das Verfahren nach Anspruch 24 nicht neu seien

gegenüber Druckschrift D4 bzw. D5 und dass die Anordnung nach Anspruch 27

dem Fachmann durch Druckschrift D1 nahegelegt werde.

In der weiteren Eingabe vom 14. Januar 2019 hat die Anmelderin einen weiter

geänderten Anspruchssatz eingereicht, woraufhin die Prüfungsstelle zur Anhörung

am 14. Mai 2019 geladen und im beigelegten Zusatz dargelegt hat, dass die Licht

emittierenden Anordnungen der neuen selbständigen Ansprüche 1, 10 und 19 aus

Druckschrift D4 bzw. D5 bekannt seien und dem Fachmann die Anordnung des

Anspruchs 1 auch durch die Druckschrift D5 nahegelegt werde. Zudem sei das

Verfahren des Anspruchs 22 nicht neu bezüglich Druckschrift D4 und werde dem

Fachmann auch durch D5 nahegelegt. Die Anordnung nach Anspruch 25 beruhe

ebenfalls auf keiner erfinderischen Tätigkeit des Fachmanns.

Zum Ende der am 14. Mai 2019 durchgeführten Anhörung, zu der die Anmelderin

entsprechend ihrer Eingabe vom 6. Mai 2019 nicht erschienen war, hat die

Prüfungsstelle die Anmeldung aus den im Ladungszusatz dargelegten Gründen

zurückgewiesen.

Gegen diesen der Anmelderin am 17. Mai 2019 zugestellten Beschluss richtet sich

die am 6. Juni 2019 beim Deutschen Patent- und Markenamt elektronisch

eingegangene Beschwerde mit der nachgereichten Beschwerdebegründung vom

28. Mai 2021.

In der mündlichen Verhandlung am 22. Juni 2021 hat die Anmelderin einen neuen

Anspruchssatz und eine neue Beschreibung vorgelegt.

Sie beantragt:

1.

den Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse H01L des Deutschen

Patent- und Markenamts vom 14. Mai 2019 aufzuheben.

2.

Ein Patent zu erteilen mit der Bezeichnung „Indiumgalliumnitrid-

Glättungsstrukturen für III-Nitrid-Anordnungen“, dem Anmeldetag 26.

März 2002 unter Inanspruchnahme der Priorität US 823732 vom 29.

März 2001 auf der Grundlage folgender Unterlagen:

- Patentansprüche 1 bis 20,

- Beschreibungsseiten 1 bis 18, jeweils überreicht in der mündlichen

Verhandlung am 22. Juni 2021;

-

11 Blatt Zeichnungen mit Figuren 1 bis 5, 6A, 6B, 6C, 7 bis 10, 11A,

11B, 12 und 13 eingegangen im Deutschen Patent- und Markenamt

am Anmeldetag.

Die in der mündlichen Verhandlung eingereichten selbständigen Ansprüche 1 und

18 haben folgenden Wortlaut:

1.

Licht emittierende III-Nitrid-Anordnung mit:

- einem Substrat (11);

- einem über dem Substrat (11) liegenden n-Gebiet (12);

- einer über dem n-Gebiet (12) liegenden Indium enthaltenden

Glättungsschicht (14, 60),

o wobei die Glättungsschicht (14, 60) zumindest 200∙10-10 m

(Ångström) dick ist;

- einer über der Glättungsschicht (14, 60) liegenden Spacerschicht (15);

o wobei die Spacerschicht eine Dicke von 10∙10-10 m bis 200∙10-10

m aufweist;

- einem über der Spacerschicht (15) liegenden aktiven Gebiet (16);

- einem über dem aktiven Gebiet (16) liegenden p-Gebiet (17),

wobei die Glättungsschicht (14, 60) eine größere Dotierstoffkonzentration

enthält als die Spacerschicht (15) und das n- Gebiet (12) höher dotiert ist

als die Glättungsschicht (14, 60) und eine Oberfläche der Glättungsschicht

(14, 60) weniger als einen halben Mikrometer von einer Oberfläche des

aktiven Gebietes (16) liegt,

und wobei die Glättungsschicht (14) InGaN ist, das einen In-Anteil zwischen

etwa 2 und etwa 12 Prozent hat.

18. Verfahren zum Bilden einer Licht emittierenden III-Nitrid-Anordnung, gemäß

wenigstens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Verfahren

umfasst:

- Aufwachsen eines über einem Substrat (11) liegenden n-Gebietes

(12);

- Aufwachsen einer über einem n-Gebiet (12) liegenden Indium

enthaltenden Glättungsschicht (14, 60) bis zu einer Dicke von

zumindest 200∙10-10 m (Ångström),

- Aufwachsen einer über der Glättungsschicht (14, 60) liegenden

Spacerschicht (15) bis zu einer Dicke von 10∙10-10 m bis 200∙10-10 m;

- Aufwachsen eines über der Spacerschicht (15) liegenden aktiven

Gebiets (16);

- Aufwachsen eines über dem aktiven Gebiet (16) liegenden p-Gebiets

(17);

wobei die Glättungsschicht (14, 60) eine größere Dotierstoffkonzentration

enthält als die Spacerschicht (15) und das n-Gebiet (12) höher dotiert ist als

die Glättungsschicht (14, 60) und eine Oberfläche der Glättungsschicht (14)

weniger als einen halben Mikrometer von einer Oberfläche des aktiven

Gebietes (16) liegt,

wobei die Glättungsschicht (14) InGaN ist, das einen In-Anteil zwischen

etwa 2 und etwa 12 Prozent hat.

Hinsichtlich der abhängigen Ansprüche 2 bis 17, 19 und 20 sowie der weiteren

Unterlagen und Einzelheiten wird auf den Akteninhalt verwiesen.

II.

Die form- und fristgerecht erhobene Beschwerde der Anmelderin ist zulässig und

erweist sich nach dem Ergebnis der mündlichen Verhandlung vom 22. Juni 2021

auch als begründet. Sie führt zur Aufhebung des Beschlusses der Prüfungsstelle für

Klasse H01L vom 14. Mai 2019 und zur Erteilung des Patents gemäß dem in der

mündlichen Verhandlung gestellten Antrag (§ 79 Abs. 1 PatG i. V. m. § 49 Abs. 1

PatG), denn die geltenden Patentansprüche sind zulässig (§ 38 PatG), und ihre

gewerblich anwendbare Lehre (§ 5 PatG) ist auch patentfähig (§§ 1 bis 4 PatG).

Als Fachmann

ist hier

ein Physiker oder Elektrotechnikingenieur mit

Hochschulabschluss und Erfahrung im Bereich der Entwicklung GaN-basierter

Leuchtdioden zu definieren.

1.

Die Anmeldung betrifft eine Licht emittierende Halbleiterdiode (LED).

Deren Funktionsprinzip besteht darin, dass eine n-dotierte mit einer p-dotierten

Halbleiterschicht in Kontakt gebracht und an der entstandenen pn-Halbleiterdiode

in Durchlassrichtung eine Spannung angelegt wird, wodurch die Elektronen des n-

Halbleiters mit den Löchern des p-Halbleiters rekombinieren und bei geeigneten

Materialien Licht emittiert wird. Zur Erhöhung der Lichtemission wird bei

hocheffizienten LEDs eine aktive Schicht an der Grenzfläche zwischen dem n- und

p-Halbleiter eingefügt, die eine Abfolge unterschiedlicher Halbleiterschichten

umfasst, die

sog. Heterostrukturen bilden und den Elektron-Loch-

Rekombinationsprozess unterstützen.

Bevorzugte Materialsysteme für die Herstellung hocheffizienter und lichtstarker

LEDs mit einem Emissionsspektrum im sichtbaren Spektralbereich sind Halbleiter

der Gruppe

III-V,

insbesondere

binäre,

ternäre

und

quaternäre

Verbindungshalbleiter aus Gallium, Aluminium, Indium und Stickstoff, die auch als

III-Nitridmaterialien bezeichnet werden. Typischerweise werden solche

III-

Nitridschichten auf Saphir-, Siliciumcarbid- oder Galliumnitridsubstraten epitaktisch

aufgewachsen, wobei Saphirsubstrate trotz ihrer relativ schlechten strukturellen und

thermischen Anpassung an III-Nitridschichten besonders häufig verwendet werden,

da Saphirkristalle (Al2O3) zur hexagonalen Symmetriegruppe gehören und mit

atomar glatter Oberfläche hinreichend kostengünstig verfügbar sowie einfach

handhabbar und gut zu reinigen sind.

Für eine hohe Lichtausbeute ist die Qualität der Schichtgrenzflächen zwischen den

einzelnen Schichten ausschlaggebend und dabei insbesondere die Qualität der

Schichtgrenzflächen unter und in dem aktiven Gebiet. Diese hängt in starkem Maß

von dem Zustand der Aufwachsfläche ab, wobei eine unzureichende Reinheit oder

Orientierung der Substratoberfläche sowie schlechte Aufwachsbedingungen und

Verunreinigungen zu einer schlechten Aufwachsqualität führen.

Ein mögliches Verfahren für die Bereitstellung von GaN-Schichten mit glatter

Oberflächenmorphologie besteht darin, zunächst eine dicke GaN-Schicht bei einer

hohen Temperatur von ungefähr 1100 °C und unter hohen molaren

Gasphasenkonzentrationsverhältnissen

von Gruppe-V-Gruppe-III-Elementen

aufzuwachsen. Denn derart aufgewachsene GaN-Schichten haben im Vergleich zu

unter Standard-Aufwachsbedingungen aufgewachsenen GaN-Schichten ein hohes

Verhältnis der lateralen zur vertikalen Aufwachsgeschwindigkeit, was es den GaN-

Schichten ermöglicht, über raue Oberflächen hin zu wachsen und eine glatte

Oberfläche für das Aufwachsen nachfolgender Schichten auszubilden. Um jedoch

eine glatte, plane Oberfläche zu erhalten, müssen auf diese Weise aufgewachsene

GaN-Schichten dick sein, was eine lange Aufwachsdauer erfordert.

Vor diesem Hintergrund liegt der Anmeldung als technisches Problem die Aufgabe

zugrunde, eine Licht emittierende III-Nitrid-Anordnung mit einer guten Qualität der

Schichtgrenzflächen unter und in dem aktiven Gebiet bei einer reduzierten

Aufwachsdauer sowie ein zugehöriges Herstellungsverfahren zur Verfügung zu

stellen, vgl. Seite 1 bis Seite 2, erster Absatz der Beschreibung.

Gelöst wird diese Aufgabe durch die Licht emittierende III-Nitrid-Anordnung des

Anspruchs 1 und das zugehörige Herstellungsverfahren nach Anspruch 18.

Wie in der nachfolgend wiedergegebenen Fig. 1 der Anmeldung dargestellt, weist

die beanspruchte III-Nitrid LED ein Substrat (11) aus bspw. Saphir, ein über dem

Substrat (11) liegendes n-Gebiet (12), eine darüber angeordnete, mindestens 20

nm dicke InGaN-Glättungsschicht (14) mit einem Indiumanteil zwischen etwa 2 und

12 Prozent, sowie darüber eine 1 bis 20 nm dicke Spacerschicht (15), das aktive

Gebiet (16) und ein p-Gebiet (17) auf. Dabei ist das n-Gebiet (12) stärker dotiert als

die Glättungsschicht (14), die wiederum stärker dotiert ist als die Spacerschicht (15).

Zudem liegt eine Oberfläche der Glättungsschicht (14) weniger als 500 nm von einer

Oberfläche des aktiven Gebietes (16).

Die Licht emittierende III-Nitrid-Anordnung zeichnet sich neben der speziellen

Schichtfolge insbesondere durch die Dicke und Dotierung der Spacerschicht aus,

die so gewählt sind, dass a) die Spacerschicht dick genug ist, um die

Aufwachsbedingungen während der Herstellung des aktiven Gebietes zu

stabilisieren, und dünn genug

ist, um die günstigen Auswirkungen der

Glättungsschicht auf die Oberflächeneigenschaften der über der Glättungsschicht

aufgewachsenen Halbleiterschichten nicht zu schmälern, und dass b) die

Spacerschicht so dotiert ist, dass der Strom gleichmäßig im aktiven Gebiet verteilt

ist und in Kombination mit der Dicke nur unwesentlich die Durchlassspannung

verändert, vgl. Beschreibungsseite 6, Zeilen 1 bis 12.

Für das nebengeordnete Herstellungsverfahren des Anspruchs 18 gelten diese

Erläuterungen in gleicher Weise.

2.

Der in der Verhandlung überreichte Anspruchssatz ist zulässig (§ 38 PatG), da

die darin beanspruchte Anordnung und das zugehörige Herstellungsverfahren in

den ursprünglichen Unterlagen offenbart sind.

Die Ansprüche 1 und 18 des Haupt- und Hilfsantrags umfassen die Merkmale der

ursprünglichen Ansprüche 1 bzw. 24 und die den Schichtaufbau der Anordnung

bzw. des Verfahrens betreffenden Zusatzmerkmale, die in den Figuren 1 und 2

sowie in der ursprünglichen Beschreibung auf Seite 3, Zeile 14 bis Seite 4, Zeile 24

und Seite 9, Zeilen 1 bis 4 offenbart sind. Die abhängigen Ansprüche 2 bis 17, 19

und 20 sind die angepassten ursprünglichen Ansprüche 2 bis 4, 6, 8, 10 bis 14, 16,

18, 20 bis 23, 25 und 26, wobei sich die Zulässigkeit der Umformulierung der

ursprünglichen Nebenansprüche 11 und 20 als nunmehr abhängige Ansprüche 8

und 15 aus Seite 2, Zeilen 7 bis 18 und Seite 5, Zeile 5 bis Seite 6, Zeile 16 ergibt.

3.

Die Lehren der Ansprüche 1 und 18 sind für den Fachmann ausführbar (§ 34

Abs. 4 PatG), da bereits deren Wortlaut mit den Zeichnungen ausreichend ist, um

dem Fachmann eine nacharbeitbare Lehre anzugeben und

zudem

Ausführungsbeispiele im Zusammenhang mit den Figuren 1, 2 und 6A bis 6C die

beanspruchte Anordnung sowie das zugehörige Herstellungsverfahren näher

beschreiben.

4.

Die gewerblich anwendbare (§ 5 PatG) Anordnung nach Anspruch 1 und das

Herstellungsverfahren nach Anspruch 18 sind gegenüber dem ermittelten Stand der

Technik neu (§ 3 PatG) und beruhen diesem gegenüber auf einer erfinderischen

Tätigkeit (§ 4 PatG) des Fachmanns, so dass sie gegenüber diesem Stand der

Technik patentfähig sind (§ 1 Abs. 1 PatG).

Gemäß den Ansprüchen 1 und 18 umfasst die Licht emittierenden III-Nitrid-

Anordnung von unten nach oben ein Substrat, ein n-Gebiet, eine mindestens 20 nm

dicke InGaN-Glättungsschicht, eine lediglich 1 bis 20 nm dicke Spacerschicht, ein

aktives Gebiet und ein p-Gebiet.

Für eine solche Ausgestaltung einer Licht emittierenden III-Nitrid-Anordnung gibt es

in dem entgegengehaltenen Stand der Technik keine Anregung.

Die den nächstkommenden Stand

der Technik darstellende Druckschrift

D5 offenbart in der nebenstehenden

Fig.

1

und

der

zugehörigen

Beschreibung im Abstract und Absatz

[0020] mit den Worten des Anspruchs

1 eine

Licht emittierende III-Nitrid-Anordnung (vgl. den Titel: „Gallium Nitride Light-Emitting

Device“) mit:

-

-

-

einem Substrat (sapphire 101);

einem über dem Substrat (101) liegenden n-Gebiet (n-type-gallium-nitride

contact layer 103);

einer über dem n-Gebiet

(103)

liegenden

Indium enthaltenden

Glättungsschicht (n type In0.1Ga0.9N layer 104),

o wobei die Glättungsschicht (104) zumindest 200∙10-10 m (Ångström)

dick ist (vgl. Fig. 1 und Abs. [0020]: „The n type In0.1Ga0.9N layer 104

with a thickness of 0.1 micrometer by which silicon was added.“);

-

einer über der Glättungsschicht (104) liegenden Spacerschicht (106, vgl. Fig.

1 und Abs. [0020]: „The n-type-gallium-nitride light guide layer 106 with a

thickness of 0.1 micrometer by which silicon was added.“);

o wobei die Spacerschicht (106) eine Dicke von 10∙10-10 m bis 200

1000∙10-10 m aufweist;

-

-

einem über der Spacerschicht (106) liegenden aktiven Gebiet (undoped

multiple quantum well structure active layer 107);

einem über dem aktiven Gebiet (107) liegenden p-Gebiet (vgl. Fig. 1 und Abs.

[0020]: „The p type Al0.2Ga0.8N layer 108 with a thickness of 200 A by which

magnesium was added.“),

wobei die Glättungsschicht (14, 60) eine größere Dotierstoffkonzentration enthält

als die Spacerschicht (15) und das n-Gebiet

(12) höher dotiert ist als die

Glättungsschicht (14, 60) und eine Oberfläche der Glättungsschicht (14, 60) weniger

als einen halben Mikrometer von einer Oberfläche des aktiven Gebietes (16) liegt,

und wobei die Glättungsschicht (n type In0.1Ga0.9N layer 104) InGaN ist, das einen

In-Anteil zwischen etwa 2 und etwa 12 Prozent hat.

Jedoch sind aus Druckschrift D5 nicht die Merkmale des Anspruchs 1 bekannt,

wonach

(a) die Spacerschicht (15) eine Dicke von 1 nm bis 20 nm aufweist,

(b) die Glättungsschicht (14, 60) eine größere Dotierstoffkonzentration enthält

als die Spacerschicht (15)

(c) das n-Gebiet (12) höher dotiert ist als die Glättungsschicht (14, 60) und

(d) eine Oberfläche der Glättungsschicht (14, 60) weniger als einen halben

Mikrometer von einer Oberfläche des aktiven Gebietes (16) liegt.

Insbesondere hat die der Spacerschicht

(15) der beanspruchten Anordnung

entsprechende Lichtleiterschicht (106) von Fig. 1 der Druckschrift D5 eine Dicke von

100 nm und ist daher mindestens fünfmal so dick wie die Spacerschicht der

beanspruchten Vorrichtung. Ausgehend von Druckschrift D5 gibt es für den

Fachmann aber keinen Anlass, die Lichtleiterschicht entsprechend obigem Merkmal

(a) mit einer Dicke von lediglich 1 bis 20 nm auszubilden, weil dann deren

lichtleitende Eigenschaften nicht mehr in ausreichenden Maße erfüllt wären.

Auch in Kombination mit den weiteren Druckschriften D1 bis D4 gibt es für den

Fachmann keinen diesbezüglichen Hinweis, zumal keine dieser Druckschriften die

beanspruchte Schichtenfolge offenbart.

Die Anordnung des Anspruchs 1 ist daher neu gegenüber den Druckschriften D1

bis D5, und sie wird dem Fachmann durch diesen Stand der Technik auch nicht

nahegelegt, so dass sie patentfähig ist.

Dies gilt in gleicher Weise für das zugehörige Herstellungsverfahren des

selbständigen Anspruchs 18.

5.

Den selbständigen Ansprüchen 1 und 18 können sich die Unteransprüche 2

bis 17 bzw. 19 und 20 anschließen, da sie die Anordnung nach Anspruch 1 bzw.

das Verfahren nach Anspruch 18 vorteilhaft weiterbilden. Zudem sind in der

geltenden Beschreibung mit Zeichnung die Gegenstände der Ansprüche

ausreichend erläutert.

6.

Bei dieser Sachlage war der angefochtene Beschluss der Prüfungsstelle für

Klasse H01L vom 14. Mai 2019 aufzuheben und das Patent im beantragten Umfang

zu erteilen.

III.

R e c h t s m i t t e l b e l e h r u n g

Gegen diesen Beschluss

steht der Anmelderin das Rechtsmittel der

Rechtsbeschwerde zu. Da der Senat die Rechtsbeschwerde nicht zugelassen hat,

ist sie nur statthaft, wenn einer der nachfolgenden Verfahrensmängel gerügt wird,

nämlich

1. dass das beschließende Gericht nicht vorschriftsmäßig besetzt war,

2. dass bei dem Beschluss ein Richter mitgewirkt hat, der von der

Ausübung des Richteramtes kraft Gesetzes ausgeschlossen oder

wegen Besorgnis der Befangenheit mit Erfolg abgelehnt war,

3. dass einem Beteiligten das rechtliche Gehör versagt war,

4. dass ein Beteiligter im Verfahren nicht nach Vorschrift des Gesetzes

vertreten war, sofern er nicht der Führung des Verfahrens

ausdrücklich oder stillschweigend zugestimmt hat,

5. dass der Beschluss aufgrund einer mündlichen Verhandlung

ergangen ist, bei der die Vorschriften über die Öffentlichkeit des

Verfahrens verletzt worden sind, oder

6. dass der Beschluss nicht mit Gründen versehen ist.

Die Rechtsbeschwerde ist

innerhalb eines Monats nach Zustellung des

Beschlusses

schriftlich durch einen beim Bundesgerichtshof zugelassenen Rechtsanwalt als

Bevollmächtigten beim Bundesgerichtshof, Herrenstr. 45 a, 76133 Karlsruhe,

einzureichen oder

durch einen beim Bundesgerichtshof

zugelassenen Rechtsanwalt als

Bevollmächtigten in elektronischer Form.

Zur Entgegennahme elektronischer Dokumente ist die elektronische Poststelle des

Bundesgerichtshofs bestimmt. Die elektronische Poststelle des Bundesgerichtshofs

ist über die auf der

Internetseite www.bundesgerichtshof.de/erv.html

bezeichneten Kommunikationswege erreichbar. Die Einreichung erfolgt durch die

Übertragung des elektronischen Dokuments in die elektronische Poststelle.

Elektronische Dokumente sind mit einer qualifizierten elektronischen Signatur oder

mit einer fortgeschrittenen elektronischen Signatur zu versehen.

Dr. Strößner

Dr. Friedrich

Dr. Himmelmann

Dr. Kapels