Rechtsprechung / BPatG / 2025
BPatG Beschluss vom 29.04.2025 – 18 W (pat) 21/23
18. Senat · ECLI:DE:BPatG:2025:290425B18Wpat21.23.0
BUNDESPATENTGERICHT
18 W (pat) 21/23 _______________________
(Aktenzeichen)
B E S C H L U S S
In der Beschwerdesache
…
betreffend die Patentanmeldung 10 2012 111 788.8
hat der 18. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf
die mündliche Verhandlung vom 29. April 2025 unter Mitwirkung des Vorsitzenden
Richters Dr. Morawek und der Richter Dr. Friedrich, Dr. Zebisch und Dr. Nielsen
ECLI:DE:BPatG:2025:290425B18Wpat21.23.0
beschlossen:
1. Der Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse H01L des Deutschen
Patent- und Markenamts vom 24. November 2022 wird aufgehoben.
2. Das Patent mit der Bezeichnung
„Vorrichtung mit zwei
Leistungshalbleiterchips und Verfahren für ihre Herstellung“ ist auf
Grundlage folgender Unterlagen zu erteilen:
− Ansprüche 1 bis 14 gemäß Hauptantrag vom 29. April 2025,
übergeben in der mündlichen Verhandlung.
− Beschreibung: Seiten 1 bis 8 und 8a vom 4. März 2019 sowie
Seiten 9 bis 13 und 15 bis 19 vom 16. Januar 2013 sowie Seite
14 und Seite 20 vom 29. April 2025.
− Zeichnungen: Seiten 1 bis 8 mit den Figuren 1, 2A bis 2O, 3 und
4 vom 12. März 2013.
G r ü n d e
I.
Die vorliegende Anmeldung mit der Bezeichnung
„Vorrichtung mit zwei
Leistungshalbleiterchips und Verfahren
für
ihre Herstellung“ wurde unter
Inanspruchnahme der Priorität US 13/314438 vom 8. Dezember 2011 beim
Deutschen Patent- und Markenamt am 5. Dezember 2012 in englischer Sprache
eingereicht. Gleichzeitig wurde Prüfungsantrag gestellt. Mit Schriftsatz vom
16. Januar 2013 wurde eine Übersetzung der Anmeldungsunterlagen eingereicht.
Die Prüfungsstelle für Klasse H01L hat im Prüfungsverfahren auf den Stand der
Technik gemäß den Druckschriften
D1 DE 10 2009 040 557 A1
D2 DE 10 2005 007 373 A1
D3 DE 10 2006 037 118 B3
D4 US 6 946 740 B2
D5 DE 10 2008 034 164 A1
D6 US 2005 / 0 224 945 A1
verwiesen und die Anmeldung in der am 24. November 2022 durchgeführten
Anhörung mit der Begründung zurückgewiesen, dass die Vorrichtung nach
Patentanspruch 1 gegenüber Druckschrift D4 nicht neu sei.
Gegen diesen der Anmelderin am 5. Dezember 2022 zugestellten Beschluss richtet
sich die am 14. Dezember 2022 beim Deutschen Patent- und Markenamt
eingegangene Beschwerde der Anmelderin.
Sie beantragt zuletzt in der mündlichen Verhandlung am 29. April 2025,
den Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse H01L des Deutschen
Patent- und Markenamts vom 24. November 2022 aufzuheben und das
Patent
mit
der
Bezeichnung
„Vorrichtung mit
zwei
Leistungshalbleiterchips und Verfahren für ihre Herstellung“ zu erteilen
auf Grundlage folgender Unterlagen:
− Ansprüche 1 bis 14 gemäß Hauptantrag vom 29. April 2025,
übergeben in der mündlichen Verhandlung.
− Beschreibung: Seiten 1 bis 8 und 8a vom 4. März 2019 sowie Seiten
9 bis 13 und 15 bis 19 vom 16. Januar 2013 sowie Seite 14 und Seite
20 vom 29. April 2025.
− Zeichnungen: Seiten 1 bis 8 mit den Figuren 1, 2A bis 2O, 3 und 4
vom 12. März 2013.
Die zueinander nebengeordneten Ansprüche 1 und 10 des in der mündlichen
Verhandlung überreichten Anspruchssatzes haben mit hinzugefügter Gliederung
folgenden Wortlaut, wobei Änderungen zum
jeweils korrespondierenden
ursprünglichen Anspruch 1 bzw. 15 unterstrichen bzw. durchgestrichen sind:
Anspruch 1:
M1.1
Vorrichtung, umfassend:
M1.2
einen ersten Leistungshalbleiterchip (10) mit einer ersten Fläche
(11) und einer zweiten Fläche (12) gegenüberliegend zur ersten
Fläche,
M1.3
wobei eine erste Kontaktstelle (13) und eine zweite Kontaktstelle
(14) auf der ersten Fläche angeordnet sind und eine dritte
Kontaktstelle (15) auf der zweiten Fläche angeordnet ist; und
M1.4
einen zweiten Leistungshalbleiterchip (20) mit einer ersten Fläche
(21) und einer zweiten Fläche (22) gegenüberliegend zur ersten
Fläche,
M1.5
wobei eine erste Kontaktstelle (23) und eine zweite Kontaktstelle
(24) auf der ersten Fläche angeordnet sind und eine dritte
Kontaktstelle (25) auf der zweiten Fläche angeordnet ist;
M1.6
wobei der erste und der zweite Leistungshalbleiterchip in einer
gemeinsamen Laminierungsschicht (42) gekapselt und
M1.7
derart angeordnet sind, dass die erste Fläche (11) des ersten
Leistungshalbleiterchips (10) in eine erste Richtung gewandt ist und
die erste Fläche (21) des zweiten Leistungshalbleiterchips (20) in
eine zweite Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung gewandt
ist, wobei die gemeinsame Laminierungsschicht (42) ein Prepreg
enthält, und
M1.8
wobei der erste Leistungshalbleiterchip (10) seitlich zumindest
teilweise vollständig außerhalb eines Umrisses des zweiten
Leistungshalbleiterchips (20) angeordnet ist,
M1.9
wobei die Vorrichtung ferner eine erste Metallschicht (34, 50)
umfasst, die an der zweiten Fläche
(12) des ersten
Leistungshalbleiterchips
(10) und an einer Oberfläche der
gemeinsamen Laminierungsschicht (42) befestigt ist und
M1.10 eine zweite Metallschicht (35, 51) umfasst, die an der zweiten
Fläche des zweiten Leistungshalbleiterchips (20) befestigt ist,
M1.11 wobei die erste Metallschicht (34, 50) und die zweite Metallschicht
(35, 51) auf gegenüberliegenden Flächen der gemeinsamen
Laminierungsschicht (42) angeordnet sind.
Anspruch 10:
M10.1 Verfahren, umfassend:
M10.2 Bereitstellen eines ersten Leistungshalbleiterchips (10), der eine
erste Fläche (11) und eine zweite Fläche (12) gegenüberliegend zur
ersten Fläche aufweist,
M10.3 wobei eine erste Kontaktstelle und eine zweite Kontaktstelle auf der
ersten Fläche (11) angeordnet sind und eine dritte Kontaktstelle auf
der zweiten Fläche (12) angeordnet ist;
M10.4 Befestigen einer ersten Metallschicht (34) an der zweiten Fläche
(12) des ersten Leistungshalbleiterchips (10);
M10.5 Bereitstellen eines zweiten Leistungshalbleiterchips (20), der eine
erste Fläche (21) und eine zweite Fläche (22) gegenüberliegend zur
ersten Fläche aufweist,
M10.6 wobei eine erste Kontaktstelle und eine zweite Kontaktstelle auf der
ersten Fläche (21) angeordnet sind und eine dritte Kontaktstelle auf
der zweiten Fläche (22) angeordnet ist;
M10.7 Befestigen einer zweiten Metallschicht (35) an der zweiten Fläche
(22) des zweiten Leistungshalbleiterchips (20);
M10.8 Befestigen einer ersten Laminierungsfolie (40) an der ersten
Metallschicht (34); und
M10.9 Befestigen einer zweiten Laminierungsfolie (41) an der zweiten
Metallschicht (35); und
M10.10 Anordnen des ersten und des zweiten Leistungshalbleiterchips
derart,
dass
die
erste
Fläche
(11)
des
ersten
Leistungshalbleiterchips (10) in eine erste Richtung gewandt ist und
die erste Fläche (21) des zweiten Leistungshalbleiterchips (20) in
eine zweite Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung gewandt
ist, und
M10.11 der erste Leistungshalbleiterchip (10) seitlich zumindest teilweise
vollständig
außerhalb
des
Umrisses
des
zweiten
Leistungshalbleiterchips (20) angeordnet ist;
M10.12 Laminieren der ersten Laminierungsfolie (40) an die zweite
Laminierungsfolie (41), um eine gemeinsame Laminierungsschicht
(42) zu erzeugen.
Hinsichtlich der abhängigen Ansprüche 2 bis 9 und 11 bis 14 sowie der weiteren
Unterlagen und Einzelheiten wird auf den Akteninhalt verwiesen.
II.
Die form- und fristgerecht erhobene Beschwerde der Anmelderin ist zulässig und
erweist sich nach dem Ergebnis der mündlichen Verhandlung auch als begründet.
Sie führt zur Aufhebung des Beschlusses und zur Erteilung des Patents gemäß dem
in der mündlichen Verhandlung gestellten Antrag (§ 79 Abs. 1 PatG i. V. m. § 49
Abs. 1 PatG), denn die geltenden Patentansprüche sind zulässig (§ 38 PatG), und
ihre gewerblich anwendbare Lehre (§ 5 PatG) ist auch patentfähig (§§ 1 bis 4 PatG).
1.
Die Anmeldung betrifft eine Vorrichtung mit zwei Leistungshalbleiterchips
und ein Verfahren für ihre Herstellung.
Leistungshalbleiterchips
sind
für
hohe
Leistungspegel
ausgelegte
Halbleiterbausteine wie Leistungs-MOSFETs,
IGBTs (Isolated Gate Bipolar
Transistor), JFETs (Junction FETs) und Leistungsbipolartransistoren. Sie sind
insbesondere für das Schalten und die Steuerung hoher Ströme und Spannungen
geeignet
und
können
für
spezifische
Anwendungen
wie
z.B.
Halbbrückenschaltungen aufeinandergestapelt werden. Problematisch ist dabei
jedoch die Wärmeabfuhr, vgl. die geltenden Beschreibungsseiten 1 bis 6.
Vor diesem Hintergrund liegt der Anmeldung als objektives technisches Problem die
Aufgabe zugrunde, eine gut herstellbare Vorrichtung mit gestapelten
Leistungshalbleiterchips bereitzustellen, die eine gute Wärmeübertragung und
Montierbarkeit aufweist sowie ein zugehöriges Herstellungsverfahren zur Verfügung
zu stellen, vgl. die geltende Beschreibungsseite 18, dritter Absatz.
Gelöst wird diese Aufgabe durch die Vorrichtung des Patentanspruchs 1 und das
Verfahren des nebengeordneten Patentanspruchs 10.
Als Fachmann ist hier ein Physiker oder Ingenieur der Fachrichtung Elektrotechnik
mit Hochschulabschluss und mehrjähriger Berufserfahrung im Bereich der
Entwicklung von Halbleiterleistungselektronik zu definieren.
2.
Das Verfahren des Anspruchs 10 wird anhand der Figuren 2A bis 2O
beschrieben, die nachfolgend auszugsweise wiedergegeben sind.
Entsprechend den Merkmalen M10.2, M10.3, M10.5 und M10.6 werden ein erster
und zweiter Leistungshalbleiterchip (10, 20) bereitgestellt, die jeweils eine erste
Fläche (11, 21) und eine zweite Fläche (12, 22) gegenüberliegend zur ersten Fläche
aufweisen, wobei jeweils eine erste Kontaktstelle (13, 23) und eine zweite
Kontaktstelle (14, 24) auf der ersten Fläche (11, 21) angeordnet sind und eine dritte
Kontaktstelle (15, 25) auf der zweiten Fläche (12, 22) angeordnet ist;
Zusätzlich werden gemäß den Merkmalen M10.4 und M10.7 eine erste
Metallschicht (34) an der zweiten Fläche (12) des ersten Leistungshalbleiterchips
(10) und eine zweite Metallschicht (35) an der zweiten Fläche (22) des zweiten
Leistungshalbleiterchips (20) befestigt. Wie dieses Befestigen erfolgt, ist nicht
beansprucht. Jedoch ist es in den Figuren 2B bis 2D dahingehend beschrieben,
dass der erste bzw. zweite Chip (10, 20) über die jeweiligen ersten und zweiten
Kontaktstellen an einer ersten bzw. zweiten Klebeträgerfolie (30, 31) befestigt und
dann mit der gegenüberliegenden Seite, auf der sich die dritte Kontaktstelle (15, 25)
befindet, mit der ersten bzw. zweiten Metallschicht (34, 35), die auf einem jeweiligen
Träger (32, 33) angeordnet ist, verbunden werden, bspw. durch Diffusionslöten.
Anschließend werden die Folien (30, 31) entfernt, vgl. Fig. 2D.
Wie in Fig. 2F gezeigt ist, werden entsprechend den Merkmalen M10.8 bis M10.11
eine erste Laminierungsfolie (40) an der ersten Metallschicht (34) und eine zweite
Laminierungsfolie (41) an der zweiten Metallschicht (35) befestigt und der erste und
zweite Leistungshalbleiterchip derart angeordnet, dass die erste Fläche (11) des
ersten Leistungshalbleiterchips (10) in eine erste Richtung gewandt ist, die erste
Fläche (21) des zweiten Leistungshalbleiterchips (20) in eine zweite Richtung
entgegengesetzt
zur ersten Richtung gewandt
ist und der erste
Leistungshalbleiterchip (10) seitlich vollständig außerhalb des Umrisses des
zweiten Leistungshalbleiterchips (20) angeordnet ist.
Gemäß Merkmal M10.12 wird die erste Laminierungsfolie (40) an die zweite
Laminierungsfolie (41) laminiert, um eine gemeinsame Laminierungsschicht (42) zu
erzeugen, was in Fig. 2G bzw. 2H nach dem Entfernen der Träger (32, 33) gezeigt
ist.
Die der Beschreibung zu entnehmende Abfolge der Verfahrensschritte ist jedoch
nicht zwingend, da Anspruch 10 hinsichtlich der Reihenfolge der Schritte nicht
beschränkt ist.
Mit der Vorrichtung nach Anspruch 1 wird ein Gegenstand entsprechend Fig. 2H
beansprucht, d. h. eine Vorrichtung mit einem ersten und einem zweiten Leistungshalbleiterchip (10, 20) mit jeweils einer ersten Fläche (11, 21) und einer zweiten
Fläche (12, 22) gegenüberliegend zur ersten Fläche (11, 21), wobei eine erste
Kontaktstelle (13, 23) und eine zweite Kontaktstelle (14, 24) auf der ersten Fläche
angeordnet sind und eine dritte Kontaktstelle (15, 25) auf der zweiten Fläche
angeordnet
ist
(Merkmale M1.2 bis M1.5). Der erste und der zweite
Leistungshalbleiterchip sind in einer gemeinsamen Laminierungsschicht (42)
gekapselt (M1.6) und derart angeordnet, dass die erste Fläche (11) des ersten
Leistungshalbleiterchips (10) in eine erste Richtung gewandt ist und die erste Fläche
(21) des zweiten Leistungshalbleiterchips
(20)
in eine zweite Richtung
entgegengesetzt zur ersten Richtung gewandt ist, wobei die gemeinsame
Laminierungsschicht (42) ein Prepreg enthält und der erste Leistungshalbleiterchip
(10)
seitlich
vollständig
außerhalb
eines Umrisses
des
zweiten
Leistungshalbleiterchips (20) angeordnet ist (M1.7 und M1.8). Zudem umfasst die
Vorrichtung eine erste Metallschicht (34), die an der zweiten Fläche (12) des ersten
Leistungshalbleiterchips (10) und an einer Oberfläche der gemeinsamen
Laminierungsschicht (42) befestigt ist und eine zweite Metallschicht (35), die an der
zweiten Fläche des zweiten Leistungshalbleiterchips (20) befestigt ist, wobei die
erste Metallschicht (34) und die zweite Metallschicht (35) auf gegenüberliegenden
Flächen der gemeinsamen Laminierungsschicht (42) angeordnet sind (M1.9 bis
M1.11).
Gemäß den Beschreibungsseiten 12 und 13 erfolgt das Befestigen der ersten (34)
bzw. zweiten Metallschicht (35) bspw. durch Diffusionslöten oder durch einen
elektrisch leitfähigen Klebstoff, und nach Beschreibungsseite 14 ist unter dem in
Merkmal M1.7 des Patentanspruchs 1 genannten Prepreg ein Polymermaterial zu
verstehen, das eine Kombination einer Fasermatte und eines Harzes ist.
3. Der in der Verhandlung überreichte Anspruchssatz ist zulässig (§ 38 PatG), da
die beanspruchten Gegenstände in den ursprünglichen Unterlagen offenbart sind.
Der geänderte Anspruch 1 ergibt sich aus dem ursprünglichen Anspruch 1 (M1.1
bis M1.8) durch Aufnahme der Merkmale der ursprünglichen abhängigen
Ansprüche 2 bis 4 (M1.8 bis M1.10), wobei die zusätzlichen Präzisierungen in den
Merkmalen M1.6, M1.7, M1.8 und M1.11 in Fig. 2G und auf Seite 14, zweiter Absatz
und Seite 15, erster Absatz der Übersetzung der ursprünglichen Beschreibung
offenbart sind.
Der nebengeordnete geänderte Verfahrensanspruch 10 ergibt sich aus dem
ursprünglichen Anspruch 15 (M10.1 bis M10.3, M10.5, M10.6, M10.10, M10.11)
durch Aufnahme der Merkmale der ursprünglichen abhängigen Ansprüche 16 bis
19 (M10.4, M10.7 bis M10.9, M10.12), wobei die zusätzliche Präzisierung in
Merkmal M10.11 in Fig. 2G und auf Seite 15, erster Absatz der Übersetzung der
ursprünglichen Beschreibung offenbart ist.
Die abhängigen Ansprüche 2 bis 9 und 11 bis 14 sind die angepassten
ursprünglichen Ansprüche 5 bis 12 und 20 bis 23.
4.
Die Lehren der Ansprüche sind für den Fachmann ausführbar (§ 34 Abs. 4
PatG), da die Ansprüche zusammen mit der Beschreibung und den Figuren die
beanspruchten Gegenstände hinreichend deutlich und vollständig offenbaren, so
dass der Fachmann sie nacharbeiten kann.
5. Die gewerblich anwendbare (§ 5 PatG) Vorrichtung des Anspruchs 1 und das
zugehörige Verfahren des nebengeordneten Anspruchs 10 sind gegenüber dem
ermittelten Stand der Technik neu (§ 3 PatG) und beruhen diesem gegenüber auf
einer erfinderischen Tätigkeit (§ 4 PatG) des Fachmanns, so dass sie gegenüber
diesem Stand der Technik patentfähig sind (§ 1 Abs. 1 PatG).
Druckschrift D4 beschreibt in den Figuren 3, 5 und 9 mit zugehöriger Beschreibung
in Spalte 2, Zeile 62 bis Spalte 4, Zeile 14 und Spalte 5, Zeilen 18 bis 21 das Prinzip
einer Halbbrückenschaltung mit zwei in Serie geschalteten Leistungs-MOSFETs
(30, 42), die jeweils eine Source- (32, 46), eine Gate- (34, 48) und eine Drain-
Elektrode (36, 44) aufweisen und von denen einer (42) in Flip-Chip-Bauweise
angeordnet ist.
Die obenliegende Source-Elektrode (32) des ersten MOSFETs (30) ist mit der
obenliegenden Drain-Elektrode (44) des Flip-Chip-MOSFETs (42) verbunden, und
die untenliegenden Elektroden (36, 46, 48) sind über leitfähige Pads (38, 50, 52) auf
einer Leiterplatte (40) angeordnet, vgl. die nachfolgend wiedergegebene Figur 3.
Gemäß Fig. 5 kann die Verbindung zwischen Source- (32) und Drain-Elektrode (44)
mittels eines elektrisch leitfähigen Elements (56) erfolgen, das die Elektroden (32,
44) über eine leitfähige Schicht (62) kontaktiert, wobei diese leitfähige Schicht (62)
auch zwischen den untenliegenden Elektroden der MOSFETs und den zugehörigen
Pads (38, 50, 52) auf der Leiterplatte (40) vorhanden ist. Zum Schutz und zur
elektrischen Isolation ist die Vorrichtung in einer Harzguss-Formmasse (58)
eingehaust (resin mold of molded housing 58 / vgl. Spalte 3, vorletzter Absatz und
Spalte 5, erster Absatz).
Zusätzlich kann die Oberseite des elektrisch leitfähigen Elements (56), wie in Figur
9 gezeigt, zur besseren Wärmeabfuhr freigelegt sein.
Folglich offenbart Druckschrift D4 mit den Worten des Patentanspruchs 1 eine
M1.1
M1.2
Vorrichtung, umfassend:
einen ersten Leistungshalbleiterchip (Flip-chip MOSFET 42) mit einer
ersten Fläche (der Leiterplatte 40 zugewandte Fläche) und einer zweiten
Fläche
(dem
leitfähigen Element
zugewandte Fläche)
gegenüberliegend zur ersten Fläche,
M1.3
wobei eine erste Kontaktstelle (source electrode 46) und eine zweite
Kontaktstelle (gate electrode 48) auf der ersten Fläche angeordnet sind
und eine dritte Kontaktstelle (drain electrode 44) auf der zweiten Fläche
angeordnet ist; und
M1.4
einen zweiten Leistungshalbleiterchip (conventional vertical conduction
power MOSFET 30) mit einer ersten Fläche (dem leitfähigen Element 56
zugewandte Fläche) und einer zweiten Fläche (der Leiterplatte 40
zugewandte Fläche) gegenüberliegend zur ersten Fläche,
M1.5
wobei eine erste Kontaktstelle (source contact 32) und eine zweite
Kontaktstelle (gate contact 34) auf der ersten Fläche angeordnet sind
und eine dritte Kontaktstelle (drain contact 36) auf der zweiten Fläche
angeordnet ist;
M1.6
wobei der erste und der zweite Leistungshalbleiterchip (42, 30) in einer
gemeinsamen Laminierungsschicht (resin mold of molded housing 58)
gekapselt und
M1.7‘
derart angeordnet sind, dass die erste Fläche des ersten
Leistungshalbleiterchips (42) in eine erste Richtung gewandt ist und die
erste Fläche des zweiten Leistungshalbleiterchips (30) in eine zweite
Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung gewandt ist, wobei die
gemeinsame Laminierungsschicht (42) ein Prepreg enthält, und
M1.8
wobei der erste Leistungshalbleiterchip
(42) seitlich vollständig
außerhalb eines Umrisses des zweiten Leistungshalbleiterchips (30)
angeordnet ist,
M1.9
wobei die Vorrichtung ferner eine erste Metallschicht (conductive
element 56 mit web portion 60 und connector 64) umfasst, die an der
zweiten Fläche des ersten Leistungshalbleiterchips (42) und an einer
Oberfläche der gemeinsamen Laminierungsschicht (58) befestigt ist und
M1.10
eine zweite Metallschicht (conductive pad 38) umfasst, die an der zweiten
Fläche des zweiten Leistungshalbleiterchips (30) befestigt ist,
M1.11
wobei die erste Metallschicht (56) und die zweite Metallschicht (38) auf
gegenüberliegenden Flächen der gemeinsamen Laminierungsschicht
(58) angeordnet sind.
Die Bezeichnung der Harzschicht (58) aus Druckschrift D4 als Laminierungsschicht
ist gerechtfertigt, weil die Bezeichnung „Laminierungsschicht“ nur zum Ausdruck
bringt, dass diese Schicht zum Lamininieren geeignet sein muss, was bei der in D4
offenbarten Harzschicht (58) der Fall ist, da durch das Aufbringen weiterer
Schichten auf die Harzschicht (58) ein Laminat, also ein Stapel aus mehreren
miteinander verbundenen Laminierungsschichten gebildet werden kann.
Im Gegensatz zu Merkmal 1.7 des Anspruchs 1 umfasst die in Druckschrift D4
offenbarte Vorrichtung jedoch keine gemeinsame Laminierungsschicht, die ein
Prepreg, d. h. eine Fasermatte mit Harz, enthält, sondern lediglich ein Gehäuse,
dass aus einer Harzguss-Formmasse besteht, d. h. aus einem Harz, dass in eine
Form gegossen wurde und die Bauteile, wie in Fig. 5 der D4 gezeigt, umschließt.
Ausgehend von Druckschrift D4 hat der Fachmann keinen Anlass, bei der in D4
offenbarten Vorrichtung das Gehäuse mit einer ein Prepreg enthaltenden
Laminierungsschicht statt mit einer Harzguss-Formmasse auszubilden. Denn der
Einsatz eines Prepregs als Bestandteil des Gehäuses würde ein komplett anderes
Verfahren als das übliche und in D4 offenbarte Harzvergießen erfordern, was für
den Fachmann nicht naheliegt und wofür es in D4 auch keinen Hinweis gibt. Zwar
ist dem Fachmann das Laminieren von Isolationsfolien zur Bereitstellung von
Isolationsschichten bspw. aus Druckschrift D1 bekannt, vgl. deren Absätze [0020]
und [0035], wobei er Prepregs enthaltende Laminierungsschichten auch als
Isolationsschichten
in Leiterplatten kennt, doch setzt er diese Prepregs
enthaltenden Laminierungsschichten aus obigen Gründen nicht in naheliegender
Weise als Gehäusematerial bei der in Druckschrift D4 offenbarten Vorrichtung ein,
so dass die Vorrichtung des Anspruchs 1 hinsichtlich Druckschrift D4 neu ist und
auf einer erfinderischen Tätigkeit beruht.
Für das Verfahren des Patentanspruchs 10 gilt dies in gleicher Weise. Denn auch
wenn einzelne Merkmale des beanspruchten Verfahrens aus den Druckschriften D1
bis D6 bekannt sind, gibt es
in
ihnen keinen Hinweis, einen ersten
Leistungshalbleiterchip mit einer ersten Laminierungsfolie und einen zweiten
Leistungshalbleiterchip mit einer zweiten Laminierungsfolie gemäß den Merkmalen
M10.1 bis M10.11 bereitzustellen und dann die erste Laminierungsfolie
entsprechend Merkmal M10.12 an die zweite Laminierungsfolie zu laminieren, um
eine gemeinsame Laminierungsschicht zu erzeugen.
So offenbaren die Druckschriften D4 und D6 lediglich eine Harzschicht (58 in D4
und 7 in D6) als Vergussmasse, ohne aber dem Fachmann eine Anregung geben
zu können, diese Harzschicht aus zwei Laminierungsfolien zu bilden oder bei dem
Gehäuse der in D4 offenbarten Vorrichtung eine ein Prepreg enthaltende
Laminierungsschicht einzusetzen.
Auch Druckschrift D1 führt in den bereits angegebenen Absätzen [0020] und [0035]
nur aus, dass eine Isolierschicht durch Laminieren als Folie aufgebracht werden
kann, doch hat der Fachmann auch in Kenntnis der D1 keine Veranlassung, gemäß
den Merkmalen M10.1 bis M10.11 einen ersten Leistungshalbleiterchip mit einer
ersten Laminierungsfolie und einen zweiten Leistungshalbleiterchip mit einer
zweiten Laminierungsfolie bereitzustellen und dann die erste Laminierungsfolie
entsprechend Merkmal M10.12 an die zweite Laminierungsfolie zu laminieren, um
eine gemeinsame Laminierungsschicht zu erzeugen.
Die Druckschriften D2, D3 und D5 offenbaren ebenfalls lediglich Gehäuse (89 in D2,
28 in D3, 16 in D5), die nicht durch das Laminieren zweier Laminierungsfolien
hergestellt wurden, und sie können dem Fachmann auch nicht das Merkmal M1.7
des Patentanspruchs 1 nahelegen.
6. Den nebengeordneten Ansprüchen 1 und 10 können sich die Unteransprüche
2 bis 9 und 11 bis 14 anschließen, da sie die Vorrichtung des Patentanspruchs 1
bzw. das Verfahren des Patentanspruchs 10 vorteilhaft weiterbilden. Zudem sind in
der geltenden Beschreibung mit Zeichnung die Gegenstände der Ansprüche
ausreichend erläutert.
7. Bei dieser Sachlage war der angefochtene Beschluss aufzuheben und das
Patent im beantragten Umfang zu erteilen.
Rechtsmittelbelehrung
Gegen diesen Beschluss steht den am Beschwerdeverfahren Beteiligten das
Rechtsmittel der Rechtsbeschwerde zu. Da der Senat die Rechtsbeschwerde nicht
zugelassen hat, ist sie nur statthaft, wenn gerügt wird, dass
1. das beschließende Gericht nicht vorschriftsmäßig besetzt war,
2. bei dem Beschluss ein Richter mitgewirkt hat, der von der Ausübung des
Richteramtes kraft Gesetzes ausgeschlossen oder wegen Besorgnis der
Befangenheit mit Erfolg abgelehnt war,
3. einem Beteiligten das rechtliche Gehör versagt war,
4. ein Beteiligter im Verfahren nicht nach Vorschrift des Gesetzes vertreten
war, sofern er nicht der Führung des Verfahrens ausdrücklich oder
stillschweigend zugestimmt hat,
5. der Beschluss aufgrund einer mündlichen Verhandlung ergangen ist, bei
der die Vorschriften über die Öffentlichkeit des Verfahrens verletzt worden
sind, oder
6. der Beschluss nicht mit Gründen versehen ist.
Die Rechtsbeschwerde
ist
innerhalb eines Monats nach Zustellung des
Beschlusses beim Bundesgerichtshof, Herrenstr. 45 a, 76133 Karlsruhe, durch
einen beim Bundesgerichtshof zugelassenen Rechtsanwalt als Bevollmächtigten
einzulegen.
Dr. Morawek
Dr. Friedrich
Dr. Zebisch
Dr. Nielsen
Verkündet am
29. April 2025